炉膛移动式RTP快速退火炉

简介:
此炉型适用于在气氛环境下长时间保温,且尽可能快速升降温的实验条件。炉膛可以自动左右移动,在一侧提前加热到保温温度,直接移到样品侧进行快速升温,最快可实现每分钟150℃的升温速率。加热后炉膛移动到另一侧实现样品的快速降温。