为了降低化学沉积温度，利用了等离子体的活性来促进反应，这种CVD系统称之为等离子体增强型化学气相沉积系统（PECVD），该设备可以根据气体的种类数量、射频功率大小、气体是否需要预热、沉积所需温区随意定制。
